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    公司產(chǎn)品

    PRODUCT CENTER

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    工業(yè)高純氫氟酸

    產(chǎn)品名稱:工業(yè)高純氫氟酸
    英文名稱:Hydrofluoric acid
    CAS號:7664-39-3
    分子式:HF
    分子量:20.01
    外觀:無色透明液體。
    用途:主要應(yīng)用于太陽能光伏電池、液晶顯示器件、集成電路和超大規(guī)模集成電路芯片的清洗、蝕刻,以及作為生產(chǎn)其他高純氟化物的原料等。
    包裝:槽車或塑料桶包裝。
    執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn):HG/T 4509-2013

    項目 指標(biāo)
    EL級 UP級 UP-S級 UP-SS級
    總酸度(以HF計)ω/% 49.0±0.5 49.0±0.5 49.0±0.5 49.0±0.5
    氟硅酸(H2SiF6)ω/(mg/kg)≤ 50 50 30 30
    氯化物(以Cl-計)ω/(mg/kg)≤ 5 5 0.2 0.05
    硝酸鹽(以NO3-計)ω/(mg/kg)≤ 3 3 0.1 0.05
    磷酸鹽(以PO43-計)ω/(mg/kg)≤ 1 1 0.1 0.05
    硫酸鹽(以SO42-計)ω/(mg/kg)≤ 5 5 0.2 0.05
    鋁(Al)ω/(μg/kg)≤ 100 10 1 0.1
    砷(As)ω/(μg/kg)≤ 200 10 1 0.1
    硼(B)ω/(μg/kg)≤ 100 10 1 0.1
    鋇(Ba)ω/(μg/kg)≤ 100 10 1 0.1
    鈣(Ca)ω/(μg/kg)≤ 100 10 1 0.1
    鎘(Cd)ω/(μg/kg)≤ 50 10 1 0.1
    鉻(Cr)ω/(μg/kg)≤ 20 10 1 0.1
    銅(Cu)ω/(μg/kg)≤ 20 10 1 0.1
    鐵(Fe)ω/(μg/kg)≤ 100 10 1 0.1
    鉀(K)ω/(μg/kg)≤ 100 10 1 0.1
    鋰(Li)ω/(μg/kg)≤ 20 10 1 0.1
    鎂(Mg)ω/(μg/kg)≤ 100 10 1 0.1
    錳(Mn)ω/(μg/kg)≤ 50 10 1 0.1
    鈉(Na)ω/(μg/kg)≤ 100 10 1 0.1
    鎳(Ni)ω/(μg/kg)≤ 50 10 1 0.1
    鉛(Pb)ω/(μg/kg)≤ 50 10 1 0.1
    鈦(Ti)ω/(μg/kg)≤ 100 10 1 0.1
    銻(Sb)ω/(μg/kg)≤ 50 10 1 0.1
    錫(Sn)ω/(μg/kg)≤ 20 10 1 0.1
    鋅(Zn)ω/(μg/kg)≤ 50 10 1 0.1
    顆粒 (≥1.0μm)/(個/mL)≤ 25      
    (≥0.5μm)/(個/mL)≤   25 5  
    (≥0.2μm)/(個/mL)≤       20
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